№:
PRO165LM-100
Характеристики
Модель
—
PRO165LM-100
Производитель
—
Aerotech
Ход
—
100 мм
Стандартная точность позиционирования
—
±4 мкм
Калиброванная точность позиционирования
—
±1 мкм
Разрешение (мин. инкрементальное перемещение)
—
5 нм (с энкодером E1)
Двунаправленная повторяемость
—
±0,4 мкм
Прямолинейность по горизонтали
—
±2,5 мкм
Прямолинейность по вертикали
—
±2,5 мкм
Угловые погрешности (Pitch (θY), Roll (θX), Yaw (θZ))
—
29 мкрад
Все характеристики
Пусконаладка и обучение персонала
Доступен лизинг, кредит, рассрочка
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантийное и постгарантийное обслуживание без привлечения производителя
Бесплатная доставка
PRO165LM-100 – прецизионный линейный столик с бескатушечным линейным серводвигателем. Отсутствие механических передач обеспечивает сверхплавное движение и высокую точность позиционирования. Оснащён линейным энкодером высокого разрешения (минимальное инкрементальное перемещение до 5 нм). Конструкция на механических подшипниках с рециркуляцией шариков выдерживает высокие нагрузки (до 45 кг). Применяется в лазерной обработке материалов, прецизионной метрологии, производстве электроники, полупроводников, волоконно-оптических системах и других высокотехнологичных отраслях.
Ключевые особенности
- Бескатушечный линейный серводвигатель
- Отсутствие люфта
- Разрешение до 5 нм
- Калиброванная точность позиционирования ±1 мкм
- Двунаправленная повторяемость ±0,4 мкм
- Высокая нагрузочная способность (45 кг)
- Максимальная скорость 2 м/с, ускорение до 3 g
- Защита от загрязнений (твёрдый кожух и боковые уплотнения)
- Опция ThermoComp® для компенсации температурных искажений
Документы
|
Модель
|
PRO165LM-100 |
|
Производитель
|
Aerotech |
|
Ход
|
100 мм |
|
Стандартная точность позиционирования
|
±4 мкм |
|
Калиброванная точность позиционирования
|
±1 мкм |
|
Разрешение (мин. инкрементальное перемещение)
|
5 нм (с энкодером E1) |
|
Двунаправленная повторяемость
|
±0,4 мкм |
|
Прямолинейность по горизонтали
|
±2,5 мкм |
|
Прямолинейность по вертикали
|
±2,5 мкм |
|
Угловые погрешности (Pitch (θY), Roll (θX), Yaw (θZ))
|
29 мкрад |
|
Максимальная скорость
|
2 м/с |
|
Максимальное ускорение
|
3 g |
|
Максимальное непрерывное усилие
|
77,7 Н |
|
Максимальная горизонтальная нагрузка
|
45 кг |
|
Максимальная боковая нагрузка
|
45 кг |
|
Масса подвижной части
|
2,6 кг |
|
Масса столика
|
8,2 кг |
|
Материал
|
Алюминий |
|
MTBF
|
20 000 ч |
- Лазерная обработка материалов
- Прецизионная метрология, контроль и микроскопия
- Производство и контроль электроники и печатных плат
- Обработка дисплеев
- Эксперименты с синхротронным и лазерным излучением
- Производство медицинских изделий
- Полупроводниковое производство
- Волоконно-оптические системы и кремниевая фотоника
Статьи