№:
H60.XYZTR5
Характеристики
Активные оси
—
X, Y, Z, θx, θy, θz
Линейное перемещение по X, Y (0~120 В)
—
±40 мкм ±20%
Линейное перемещение по Z (0~120 В)
—
±27.5 мкм ±20%
Угол наклона по θx, θy (0~120 В)
—
±0.6 мрад ±20%
Угол наклона по θz (0~120 В)
—
±0.8 мрад ±20%
Разрешение наклона, θx, θy
—
лучше 0.5 мкрад
Разрешение наклона, θz
—
лучше 0.5 мкрад
Разрешение по X, Y
—
лучше 0.5 нм
Разрешение по Z
—
лучше 0.5 нм
Собственная резонансная частота без нагрузки
—
1 кГц ±5%
Все характеристики
Пусконаладка и обучение персонала
Доступен лизинг, кредит, рассрочка
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантийное и постгарантийное обслуживание без привлечения производителя
Бесплатная доставка
H60 Piezo Hexapod представляет собой пьезо-платформу с 6-осевым движением θx, θy, θz, X, Y и Z. 6-осевое движение в пространстве реализуется за счет скоординированного расширения и сжатия шести пьезоактюаторов. Модель с обратной связью имеет высокую точность позиционирования. Он подходит для таких применений, как прецизионная обработка микроэлектроники, испытания и т. д.
Отличительные особенности:
Отличительные особенности:
- Перемещение по осям θX, θY, θZ, X, Y и Z
- Датчики обратной связи (режим Closed-loop)
- Отсутствие накопления ошибок
Документы
Пьезопозиционирующий гексапод
187,7 кб
|
Активные оси
|
X, Y, Z, θx, θy, θz |
|
Линейное перемещение по X, Y (0~120 В)
|
±40 мкм ±20% |
|
Линейное перемещение по Z (0~120 В)
|
±27.5 мкм ±20% |
|
Угол наклона по θx, θy (0~120 В)
|
±0.6 мрад ±20% |
|
Угол наклона по θz (0~120 В)
|
±0.8 мрад ±20% |
|
Разрешение наклона, θx, θy
|
лучше 0.5 мкрад |
|
Разрешение наклона, θz
|
лучше 0.5 мкрад |
|
Разрешение по X, Y
|
лучше 0.5 нм |
|
Разрешение по Z
|
лучше 0.5 нм |
|
Собственная резонансная частота без нагрузки
|
1 кГц ±5% |
|
Структура
|
гексапод |
|
Источник привода
|
пьезоактуаторы |
|
Грузоподъёмность
|
5 кг |
|
Масса
|
1300 г ±5% |
- Полупроводниковое оборудование
- Литография
- Контроль и микрообработка пластин
- Медицинское оборудование
- Аэрокосмическая отрасль
Статьи
Рекомендуем
Цена по запросу
Цена по запросу
Цена по запросу
Цена по запросу
Цена по запросу
Нужна консультация?
Бесплатная консультация инженера
Задать вопрос