Российское производство
Характеристики
Длина волны
—
355–1064 нм
Средняя мощность
—
до 100 Вт
Частота следования импульсов
—
10–1000 кГц
Энергия в импульсе
—
до 2 мДж
Длительность импульса
—
до 240 фс
Пространственный профиль пучка
—
TEM00, M² < 1,3
Диапазон перемещения XY
—
до 600 × 600 мм
Диапазон перемещения Z
—
до 300 мм
Точность позиционирования
—
до ±1 мкм
Разрешение позиционирования
—
до 25 нм
Эксклюзивный дистрибьютор ООО «Нордлэйз» в РФ и странах Таможенного Союза АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции ООО «Нордлэйз», полную техническую поддержку, а также поставку образцов.
Описание
Лазерная система на основе лазера с короткими импульсами предназначена для скрайбирования полупроводниковых пластин. Управление паттерном обработки может осуществляться как гальвосканером, так и трёхкоординатными позиционерами с точностью до 1 мкм. Контроль процесса скрайбирования осуществляется с ПК с выводом изображения поверхности образца, управление временными и энергетическими параметрами лазера, а также задание траектории пучка обеспечивается через ПО.
Ключевые особенности
- Длина волны излучения: 355–1064 нм
- Лазерный источник с короткими или ультракороткими импульсами
- Средняя мощность излучения до 100 Вт
- Трёхосевая система позиционирования образца
- Система пылеудаления
- Система освещения и визуализации образца
- Вакуумный прижим образца
- Пневматическая система виброизоляции
- Компоновка на гранитном портале или оптическом столе
Программное обеспечение
- Регулировка мощности/энергии лазерного излучения, контроль частоты следования и длительности импульсов
- Управление положением образца, задание и настройка траекторий перемещения луча, подгрузка траекторий из файла
- Визуализация зоны обработки с помощью видеокамер
- Привязка к объекту по реперным точкам и оценка геометрических размеров
- Логирование параметров системы в процессе эксплуатации
Рекомендуем
Нужна консультация?
Бесплатная консультация инженера
Задать вопрос