№:
FA-GJ25041801
Характеристики
Применимые технические характеристики пластин
—
0-12"; θz ход: ±10°
Толщина
—
0 мм ~ 2,0 мм; θz ход: ±10°
Разрешение движения по оси XYZ
—
0,1 мкм; θz разрешение при движении: 0,00018°
Точность позиционирования по оси XYZ
—
≤±0,5 мкм; θz точность позиционирования: 0,002°
Скорость перемещения XY
—
≤50 мм/с; Скорость вращения θz: ≤10°/с
Система обратной связи
—
50-нм решетчатая обратная связь; Точность регулирования температуры: 0,01 °C
Производительность
—
100 мин / 12-дюймовая пластина; Минимальная скорость регулирования температуры: ±0,1 °C/час
Способ охлаждения
—
компрессорное охлаждение
Пусконаладка и обучение персонала
Доступен лизинг, кредит, рассрочка
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантийное и постгарантийное обслуживание без привлечения производителя
Бесплатная доставка
Официальный дистрибьютор OMTOOLS в РФ и странах Таможенного Союза АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции OMTOOLS, полную техническую поддержку, а также поставку образцов.
Описание
Система станции тестирования фотонных интегральных схем состоит из оптического стола, системы визуализации, левой и правой платформ, элемента Пельтье и каналов ВЧ/DC сигнала.
Весь процесс тестирования от загрузки образцов до выгрузки результатов выполняется без какого-либо ручного вмешательства, что обеспечивает высокую скорость, исключает влияние человеческого фактора и гарантирует максимальную точность измерений.
- Ось X/Y/Z оснащена алгоритмами автоматической компенсации плоскостности и вертикальности для обеспечения точности позиционирования ±1 мкм;
- 5-ступенчатая регулировка хода (базовая высота → буфер контакта → высота превышения и т.д.) для предотвращения царапания датчика о чип и обеспечения надежности контакта;
- Пластины диаметром 3/4/5/6/8/12 дюймов;
- Дополнительный модуль контроля температуры, высокоточная плата датчика и т.д. могут быть оснащены для удовлетворения особых потребностей в тестировании (например, для высокотемпературных/высокочастотных устройств).
АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции и полную техническую поддержку. Получить дополнительную информацию вы можете, обратившись в нашу компанию.
Документы
Станция OMTools
376,4 кб
Статьи
Нужна консультация?
Бесплатная консультация инженера
Задать вопрос