TRS-Ultra – это высокопроизводительная система безмасочной УФ литографии для высокотехнологических применений. Она задействует продвинутые высокоскоростные методы обработки, комбинированные с запатентованными алгоритмами и аппаратным обеспечением для достижения точной центровки и точности обработки.
Система предлагает интегрированную конструкцию и полностью автоматизированную работу с обработкой подложек до 12 дюймов. Применима для таких областей как микрофлюидика, полупроводниковое производство, биотехнологии и микроэлектроника.
Ключевые особенности:
- отлично подходит для крупномасштабных промышленных применений;
- предлагает несколько режимов обработки от нанометров до десятков микрометров;
- система центровки позволяет проводить 2D/2.5D микро- и наноструктурирование;
- наличие системы автоматического выравнивания поверхности и ошибки выравнивания;
- модульное исполнение позволяет проводить апгрейд системы;
- бесшовная прямая лазерная запись;
- полностью автоматический контроль процессинга;
- наличие системы долгосрочного контроля стабильности излучения;
- наличие вакуумного прижима;
- Grayscale экспозиция.
АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции, полную техническую поддержку. Получить дополнительную информацию вы можете, обратившись в нашу компанию.
- быстрая обработка и моделирование;
- микро/нано оптика;
- микрофлюидные чипы;
- микроэлектроника;
- фотомаски;
- полупроводник.
Нужна консультация?
Бесплатная консультация инженера