№:
TRS-Smart
В корзину
Быстрый заказ
Характеристики
Минимальная ширина линии
—
0.5 мкм
Шероховатость края
—
0.08 мкм
Точность выравнивания
—
0.5 мкм
Максимальная скорость записи
—
40 мм2/мин
Длина волны излучения
—
405 нм
Размер подложек
—
от 5х5 мм2до 8"x8"
Ширина подложек
—
0–12 мм
Размер зоны обработки
—
200х200 мм2
Пусконаладка и обучение персонала
Доступен лизинг, кредит, рассрочка
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантийное и постгарантийное обслуживание без привлечения производителя
Бесплатная доставка
TRS-Smart специально разработана для лабораторных исследований, не требующих масштабного производства. Система обладает высокими скоростями обработки, разрешением и точностью центровки. Установка предлагает высокоинтегрированную конструкцию и полностью автоматизированную работу, позволяющую быстро обрабатывать небольшие партии заготовок. Широко используется в таких областях как микрофлюидика, полупроводниковое производство, биотехнологии и микроэлектроника.
Ключевые особенности:
- быстрый и простой процесс центровки для достижения 2D/2.5D микро- и наноструктурирования;
- возможна работа в нескольких режимах обработки, включая Grayscale экспозицию;
- функция предпросмотра паттерна и компенсации ошибки центровки;
- автоматическое выравнивание поверхности и автофокусировка;
- полностью автоматизированная система;
- адаптивность к различным подложкам с вакуумной платформой, подходящей для различных размеров и форм подложек.
АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции и полную техническую поддержку. Получить дополнительную информацию вы можете, обратившись в нашу компанию.
Документы
TRS-smart
512,1 кб
- микрофлюидика;
- полупроводниковое производство;
- биотехнологии;
- микроэлектроника.
Статьи
Рекомендуем
Цена по запросу
Варианты цен
Цена по запросу
Цена по запросу
Варианты цен
Цена по запросу
Цена по запросу
Цена по запросу
Варианты цен
Цена по запросу
Нужна консультация?
Бесплатная консультация инженера
Задать вопрос