Характеристики
Активные оси
—
θx, θy
Управление приводом
—
3 канала управления
Номинальный угол наклона (0~120 В)
—
±0.6 / ±0.8 мрад ±10%
Максимальный угол наклона (0~150 В)
—
±0.75 / ±1 мрад ±10%
Апертура
—
110×80 мм
Разрешение
—
0.002 мкрад
Собственная резонансная частота без нагрузки
—
490/445 Гц ±20%
Резонансная частота при нагрузке 300 г
—
300/250 Гц ±20%
Время шага
—
5 мс ±20%
Грузоподъёмность (горизонтально)
—
300 г
Все характеристики
Пусконаладка и обучение персонала
Доступен лизинг, кредит, рассрочка
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантийное и постгарантийное обслуживание без привлечения производителя
Бесплатная доставка
S54.T1S/K-C – это высокоточный пьезоэлемент наклона, перемещающийся по углам θx и θy и перемещающийся со скоростью до 2 мрад. В его конструкции используется гибкая шарнирная конструкция, не вызывающая трения, обеспечивающая быстрое время отклика и превосходную точность позиционирования. Версия с замкнутым контуром с датчиками обеспечивает точность ±0,011% полной шкалы, что делает ее подходящей для высокоточных приложений. Он также имеет апертуру 110×80 мм, подходящую для применения в условиях пропускающего света.
Отличительные особенности:
- Наклон по осям θX и θY
- Конструкция с большой апертурой: 110 × 80 мм
- Грузоподъёмность до 300 г
Документы
|
Активные оси
|
θx, θy |
|
Управление приводом
|
3 канала управления |
|
Номинальный угол наклона (0~120 В)
|
±0.6 / ±0.8 мрад ±10% |
|
Максимальный угол наклона (0~150 В)
|
±0.75 / ±1 мрад ±10% |
|
Апертура
|
110×80 мм |
|
Разрешение
|
0.002 мкрад |
|
Собственная резонансная частота без нагрузки
|
490/445 Гц ±20% |
|
Резонансная частота при нагрузке 300 г
|
300/250 Гц ±20% |
|
Время шага
|
5 мс ±20% |
|
Грузоподъёмность (горизонтально)
|
300 г |
|
Электрическая ёмкость
|
3.6/ось мкФ ±20% |
|
Материал
|
нержавеющая сталь, алюминиевый сплав |
|
Масса (включая кабель)
|
560 г ±5% |
- Регулировка положения маски и подложки
- Производство полупроводников
- Калибровка датчиков ускорения и угловой скорости
- Выравнивание и фокусировка образцов
- Схемы с пропусканием света
Статьи