Российское производство
Характеристики
Длина волны
—
527 нм
Длительность импульса
—
150 нс
Частота следования импульсов
—
0,1–5 кГц
Энергия сдвоенного импульса @ 1 кГц
—
60 мДж
Задержка между сдвоенными импульсами
—
1–10 мкс
Долгосрочная стабильность энергии
—
< 3% (за 8 ч)
Профиль пучка
—
П-образный / многомодовый
Диапазон перемещения XY
—
до 600 × 600 мм
Диапазон перемещения Z
—
до 300 мм
Точность позиционирования
—
до ±1 мкм
Все характеристики
Эксклюзивный дистрибьютор ООО «Нордлэйз» в РФ и странах Таможенного Союза АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции ООО «Нордлэйз», полную техническую поддержку, а также поставку образцов.
Лазерная система на основе лазера с короткими импульсами предназначена для скрайбирования полупроводниковых пластин. Управление паттерном обработки может осуществляться как гальвосканером, так и трёхкоординатными позиционерами с точностью до 1 мкм. Контроль процесса скрайбирования осуществляется с ПК с выводом изображения поверхности образца, управление временными и энергетическими параметрами лазера, а также задание траектории пучка обеспечивается через ПО.
Ключевые особенности
- Длина волны излучения: 355–1064 нм
- Лазерный источник с короткими или ультракороткими импульсами
- Средняя мощность излучения до 100 Вт
- Трёхосевая система позиционирования образца
- Система пылеудаления
- Система освещения и визуализации образца
- Вакуумный прижим образца
- Пневматическая система виброизоляции
- Компоновка на гранитном портале или оптическом столе
Программное обеспечение
- Регулировка мощности/энергии лазерного излучения, контроль частоты следования и длительности импульсов
- Управление положением образца, задание и настройка траекторий перемещения луча
- Визуализация зоны обработки с помощью видеокамер
- Привязка к объекту по реперным точкам и оценка геометрических размеров
- Логирование параметров системы в процессе эксплуатации
Документы
|
Длина волны
|
527 нм |
|
Длительность импульса
|
150 нс |
|
Частота следования импульсов
|
0,1–5 кГц |
|
Энергия сдвоенного импульса @ 1 кГц
|
60 мДж |
|
Задержка между сдвоенными импульсами
|
1–10 мкс |
|
Долгосрочная стабильность энергии
|
< 3% (за 8 ч) |
|
Профиль пучка
|
П-образный / многомодовый |
|
Диапазон перемещения XY
|
до 600 × 600 мм |
|
Диапазон перемещения Z
|
до 300 мм |
|
Точность позиционирования
|
до ±1 мкм |
|
Разрешение позиционирования
|
до 25 нм |
Рекомендуем
Нужна консультация?
Бесплатная консультация инженера
Задать вопрос