Характеристики
Узел / система
—
Ключевые технические параметры
Узел визуализации (Vision System)
—
Повторяемость позиционирования при стыковке: ±0,1 мкм (X/Y/Z); Повторяемость углов: до ±0,003° (Theta X/Y/Z)
Платформа оптической стыковки (Coupler Platform)
—
Диапазоны перемещений: X ≥ 70 мм; Y ≥ 30 мм; Z ≥ 30 мм; Theta X / Z ≥ ±5°; Theta Y ≥ ±6°
Точность оптической стыковки
—
Повторяемость X/Y/Z: ±0,1 мкм; Повторяемость углов: Theta X ±0,005°; Theta Z ±0,003°; Theta Y ±0,003°
Параметры процесса стыковки
—
Стабильность стыковки: < 0,3 дБ / 5 мин; Повторяемость стыковки:< 0,3 дБ; Время стыковки (1 сторона): ≤ 2 с
Координатный стол (Stage)
—
Перемещения: X ≥ 20 мм; Y ≥ 50 мм; Z ≥ 8 мм; Theta Z ≥ ±5,5°
Точность координатного стола
—
Повторяемость X/Y/Z: ±0,5 мкм; Повторяемость Theta Z: ±0,003°
Автоматическая загрузка и выгрузка пластин
—
Время цикла загрузки/выгрузки: ≤ 60 с
Узел работы с Blue Film
—
Перемещения: X ≥ 300 мм; Y ≥ 300 мм; Z ≥ 13 мм; Theta Z ≥ ±20°; Ход толкателя (Ejector pin): ≥ 10 мм
Зондовые компоненты
—
Автоматическая установка зондов; Поддержка пользовательских зонд-карт
Все характеристики
Пусконаладка и обучение персонала
Доступен лизинг, кредит, рассрочка
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантийное и постгарантийное обслуживание без привлечения производителя
Бесплатная доставка
Автоматическая станция для тестирования чипов, разработанная производителем Emissence.
Основные технические характеристики оборудования
Основные технические характеристики оборудования
Система представляет собой полностью автоматизированное решение для тестирования микросхем, интегрирующее аппаратную платформу, специализированное программное обеспечение и прецизионную систему машинного зрения. Весь процесс тестирования — от загрузки образцов до выгрузки результатов — выполняется без какого-либо ручного вмешательства, что обеспечивает высокую скорость, исключает влияние человеческого фактора и гарантирует максимальную точность измерений.
Ключевые особенности
- Полный цикл без оператора: автоматизированы ключевые этапы (загрузка/разгрузка чипов, подведение пробников и подача питания, юстировка оптических компонентов).
- Генерация данных: система самостоятельно формирует и сохраняет полный массив тестовых данных.
- Превентивный контроль качества: точные результаты и встроенный анализ данных позволяют выявлять дефекты и потенциальные проблемы на ранней стадии производственного процесса.
- Экономическая эффективность: снижение доли ручного труда, минимизация ошибок и ранняя диагностика позволяют избежать дорогостоящих затрат на повторное тестирование и ремонт на финальных этапах.
Документы
|
Узел / система
|
Ключевые технические параметры |
|
Узел визуализации (Vision System)
|
Повторяемость позиционирования при стыковке: ±0,1 мкм (X/Y/Z); Повторяемость углов: до ±0,003° (Theta X/Y/Z) |
|
Платформа оптической стыковки (Coupler Platform)
|
Диапазоны перемещений: X ≥ 70 мм; Y ≥ 30 мм; Z ≥ 30 мм; Theta X / Z ≥ ±5°; Theta Y ≥ ±6° |
|
Точность оптической стыковки
|
Повторяемость X/Y/Z: ±0,1 мкм; Повторяемость углов: Theta X ±0,005°; Theta Z ±0,003°; Theta Y ±0,003° |
|
Параметры процесса стыковки
|
Стабильность стыковки: < 0,3 дБ / 5 мин; Повторяемость стыковки:< 0,3 дБ; Время стыковки (1 сторона): ≤ 2 с |
|
Координатный стол (Stage)
|
Перемещения: X ≥ 20 мм; Y ≥ 50 мм; Z ≥ 8 мм; Theta Z ≥ ±5,5° |
|
Точность координатного стола
|
Повторяемость X/Y/Z: ±0,5 мкм; Повторяемость Theta Z: ±0,003° |
|
Автоматическая загрузка и выгрузка пластин
|
Время цикла загрузки/выгрузки: ≤ 60 с |
|
Узел работы с Blue Film
|
Перемещения: X ≥ 300 мм; Y ≥ 300 мм; Z ≥ 13 мм; Theta Z ≥ ±20°; Ход толкателя (Ejector pin): ≥ 10 мм |
|
Зондовые компоненты
|
Автоматическая установка зондов; Поддержка пользовательских зонд-карт |
|
Основная конструкция
|
Мраморная платформа и портал; Жёсткая несущая конструкция |
|
Персональный компьютер оператора
|
Промышленный ПК; ОС Windows |
|
Программное обеспечение
|
Автоматический и ручной режимы; Хранение тестовых данных; Графический интерфейс |
|
Температурный контроллер
|
Диапазон температур: 15–40 °C |
|
Формирование тестовых данных
|
Автоматический сбор, хранение и экспорт данных |
|
Пневматика (CDA)
|
Давление: 6–8 кгс/см²; Расход: до 17 л/мин; Разъём: быстросъёмный, 8 мм; |
|
Вакуум
|
Разрежение: до −650 мм рт. ст.; Расход до 17 л/мин; Разъём: быстросъёмный, 8 мм |
Статьи