- 2D
- 3D
Пьезотранслятор идеально подходит для плавного перемещения оптических элементов или зонда с нанометровым разрешением в системах с открытым и замкнутым контуром.
Подвижная центральная часть закреплена на гибких пружинах и приводится в действие пьезоприводами для обеспечения высокой жесткости и стабильности работы. Конструкция пьезотранслятора обеспечивает отличную линейность и плоскостность движения, в отличие от классических сканеров на основе пьезоэлектрических трубок, где поверхность сканирования является сферой. Кроме того, плоскопараллельные сканеры имеют более высокую механическую прочность по сравнению с хрупкими пьезоэлектрическими трубками.
Сканирующий пьезотранслятор оснащен емкостными датчиками перемещения для цифрового управления с обратной связью. Он обеспечивает высокую точность и линейность движения и устраняет эффект ползучести, свойственный пьезокерамике. Измерения емкостей производятся с технологией TDC (преобразование временных интервалов в код), где вся измерительная электроника расположена как можно ближе к датчикам. Такая конструкция приводит к малошумному и высокоскоростному регулированию смещения.
Для управления пьезотранслятором используются универсальные контроллеры, а также программное обеспечение NSpec.
Область применения для пьезотранслятора включает: сканирующую зондовую микроскопию (например, атомно-силовая микроскопия), нанопозиционирование, метрологию, биологию, микроэлектронику, микроманипуляции и т. д.
- Технология датчиков с удвоенной емкостью для обратной связи
- Диапазон перемещения в горизонтальном направлении до 200 мкм
- Диапазон перемещения в вертикальном направлении до 20 мкм
- Сверхвысокое разрешение 0,1 нм
- Бюджетный
- Компактный дизайн и малый вес
- Подходит для универсальных применений
- Высокая жесткость
- Компенсированный эффект ползучести пьезокерамики
- Устойчивость к помехам на низких частотах
- Идеально подходит для микроскопического применения
- Версия для работы в вакууме
АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции, полную техническую поддержку. Получить дополнительную информацию вы можете, обратившись в нашу компанию.
|
Активные оси
|
XY(Z) |
|
Диапазон перемещения по XY
|
200 x 200 мкм |
|
Диапазон перемещения по Z
|
20 мкм |
|
Разрешение (замкнутый контур)
|
1 нм |
|
Разрешение (открытый контур):
|
0.1 нм |
|
Угол наклона
|
< 0.01° |
|
Максимальная скорость сканирования
|
10 Гц |
|
Электрическая емкость (XY оси)
|
30 пф |
|
Электрическая емкость (Z ось)
|
35 пф |
|
Резонансная частота (XY оси)
|
1 кГц |
|
Резонансная частота (Z ось)
|
30 кГц |
|
Максимальная нагрузка
|
100 г |
|
Диапазон рабочих температур
|
- 40…80°С |
|
Размеры
|
100 x 100 x 33 мм |
|
Материал
|
алюминий |
Нужна консультация?
Бесплатная консультация инженера