Предназначен для метрологии полупроводниковых приборов
Низкопрофильная базовая платформа
Визуализация в наномасштабе без помех
1TS-AVI200LP - компактная модульная динамическая виброизоляционная система, которая обеспечивает изоляцию всех шести поступательных и вращательных вибраций. При достаточно невысокой стоимости эта компактная система позволяет получить лучшие характеристики виброизоляции, чем громоздкие и дорогие пассивные системы. Система обратной связи основана на датчиках силы, обеспечивающих изоляцию не только от колебания зданий, но и от колебаний, возникающих в самой системе. Например, положение установленного на систему активной виброизоляции микроскопа будет сохраняться при воздействии на него руки оператора. Жесткость системы в 500 раз больше, чем жесткость аналогичной пассивной системы, изолирующей от вибраций свыше 1 Гц, что обеспечивает высокую стабильность по положению и направлению. Отсутствие низкочастотных резонансов, которые присутствуют во всех пассивных системах, позволяет использовать систему для виброизоляции в неблагоприятных условиях. Система идеальна для точных интерферометров Фабри-Перо и туннельных микроскопов, позволяя получить от этих систем максимальные характеристики. Системы успешно используются в экспериментах с повышенными требованиями к чувствительности - для изготовления мономолекулярных пленок по технологии Ленгмюра-Блоджетт. 1TS-AVI200LP удобная система, состоящая из нескольких модулей. Каждый модуль сам по себе изолирует от вертикальных и горизонтальных колебаний, а также от колебаний вращения вокруг одной горизонтальной оси. Комбинация из двух или более модулей изолирует от колебаний для всех шести возможных поступательных и вращательных степеней свободы. Модули не могут использоваться по отдельности. Стандартная система 1TS-AVI200LP обеспечивает защиту от колебаний с частотой от 1 Гц. При 10 Гц снижение амплитуды колебания составляет 35 дБ.
Особенности
- Компактные размеры
- Отсутствуют резонансы на низких частотах
- Скорость реакции на внешнее воздействие - 10 мс
- Работает без воздуха, не требует наладки и калибровки
- Изолирует колебания по всем трем осям
- Не создает электромагнитного излучения
- Не нагревается
Компания «АО «ЛЛС» » является дистрибьютором компании Standa на территории Российской Федерации и стран Таможенного Союза, и предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции, полную техническую поддержку, а также поставку образцов.
Система активной изоляции предлагает решение, которое сочетает жесткость с малым временем стабилизации. Наиболее действенные активные системы применяют инерционную скорость в цепи обратной связи. (Инерционная скорость может быть измерена например путем интегрирования сигнала с акселерометра). Сигнал, пропорциональный инерциальной скорости очень близок к вязкой демпфирующей силе, но с очень важной разницей, что демпфирование относится к инерциальной плоскости. Таким образом, в отличие от пассивных систем, посредтвом увеличения демпфирования система «приклеивается» к инерциальной плоскости, что по определению означает, что система изолирована от окружающей среды.
Особенности
- Изоляция от вибраций с частотой от 0,7 Гц до 1 кГц
- Отсутствие любого низкочастотного резонанса означает приводит к лучшим результатам, чем при использовании обычных пассивных демпфирующих состем
- Изоляция всех линейных и вращательных вибрационных мод
- Жесткость 1TS-140 придает отличную направленную + позиционную стабильность
- 1TS-140 обеспечивает изоляцию всех шести режимов линейной и вращательной вибраций
Компания «АО «ЛЛС» » является дистрибьютором компании Standa на территории Российской Федерации и стран Таможенного Союза, и предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции, полную техническую поддержку, а также поставку образцов.
* DAEIL SYSTEMS
* Standa