Интернет-магазин представительского класса

+7 (812) 507-88-08

Заказать звонок

Задать вопрос

Войти

info@lenlasers.ru

199034, г. Санкт-Петербург, Биржевая линия, д. 16, офис 401

Отложенные 0 Корзина 0

Полуавтоматическая зондовая станция FA-AT3C

Цена по запросу

В корзину

Характеристики

Поддерживаемые пластины

—

0–12" (толщина до 2.0 мм)

Разрешение по осям XYZ

—

0.1 мкм

Точность позиционирования по осям XYZ

—

≤±2 мкм

Точность позиционирования по осям XYZ

—

≤±1 мкм

Скорость перемещения по оси XY

—

≤50 мм/с

Скорость перемещения по оси XY

—

≤10 мм/с

Система обратной связи

—

Датчик с шагом 50 нм

Ход θZ (угол)

—

±10°

Разрешение по оси θZ

—

0.00018°

Точность позиционирования оси θZ

—

0.005°

Все характеристики

Пусконаладка и обучение персонала

Доступен лизинг, кредит, рассрочка

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантийное и постгарантийное обслуживание без привлечения производителя

Бесплатная доставка

Официальный дистрибьютор Form.AI в РФ и странах Таможенного Союза АО «ЛЛС» предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции Form.AI, полную техническую поддержку, а также поставку образцов.

Описание
Характеристики

Тестирование полупроводниковых пластин (до 12"), оптоэлектронных устройств и интегральных схем с автоматическим выравниванием, высокой точностью и визуализацией процесса.

Ключевые особенности:

Сенсорное управление, автоматическое сканирование (≤15 сек).
Трехосевое перемещение (X/Y/Z) с компенсацией плоскостности.
Сегментированное перемещение по Z-оси для защиты пластин от повреждений.
Температурный диапазон: от -60 до +300°C (точность ±0.1°C/час).
Микроскопы (до 4000x) и CCD-камеры (5 Мп, 60 fps).
Опции: экранирующий бокс, антивибрационный стол, ВЧ/коаксиальные модули.

АО «ЛЛС» является официальным дистрибьютором, представляет весь спектр продукции Form.AI на территории РФ и стран СНГ и предлагает наиболее выгодные условия поставки продукции и полную техническую поддержку. Получить дополнительную информацию вы можете, обратившись в нашу компанию.

Документы

4 FA-AT3C 1,1 мб

Поддерживаемые пластины	0–12" (толщина до 2.0 мм)
Разрешение по осям XYZ	0.1 мкм
Точность позиционирования по осям XYZ	≤±2 мкм
Точность позиционирования по осям XYZ	≤±1 мкм
Скорость перемещения по оси XY	≤50 мм/с
Скорость перемещения по оси XY	≤10 мм/с
Система обратной связи	Датчик с шагом 50 нм
Ход θZ (угол)	±10°
Разрешение по оси θZ	0.00018°
Точность позиционирования оси θZ	0.005°
Скорость позиционирования по оси θZ	≤10°/с
Диапазон температур	От -60 да +300°C
Разрешение термоконтроля	0.01°C
Точность термоконтроля	±0.1°C/час
Система охлаждения	Компрессорное
Материал платформы для игл	Серебряное покрытие
Система отображения (увеличение)	15x–100x / 60x–420x / 20x–4000x
Ход микроскопа (XYZ)	50×50×100 мм (точность 1 мкм)
Камера CCD	2.0/5.0 Мп, 60 кадр/с