№:
MiScan
Характеристики
Источник излучения
—
LD 405 нм, ≥3.6 Вт (MiScan 200) / DPSS лазер 355 нм, 10 Вт (MiScan 200 UV) / DPSS лазер 355 нм, 10 Вт (MiScan 200 UV Pro)
Оптика
—
Числовая апертура NA=0.3, NA=0.45, NA=0.8
DMD-матрица
—
0,95 дюйма, 1920×1080 пикселей
Рабочий стол
—
200 × 200 мм (Опционально 250 × 250 мм)
Система регулировки температуры
—
±0,1 °C, фильтрация класса 100 (ISO 5)
Диапазон автофокусировки
—
0-200 мкм
Толщина подложки
—
0-15 мм
Размер подложки
—
5 × 5 мм – 300 × 300 мм
Поддерживаемые форматы файлов
—
GDS, BMP, STL
Опции
—
Поляризационная литография (MiScan 200, MiScan 200 UV) / Система совмещения по
Все характеристики
Пусконаладка и обучение персонала
Доступен лизинг, кредит, рассрочка
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантийное и постгарантийное обслуживание без привлечения производителя
Бесплатная доставка
MiScan – это эффективная гибридная установка прямой записи, сочетающая высокую производительность и точность. Оборудование поддерживает работу с подложками до 12 дюймов (стандарт), оснащено высокомощными источниками излучения и системой высокоточного позиционирования. Подходит для научных исследований и промышленного применения.
Ключевые особенности
- Высокомощные источники: 405 нм LD, 355 нм DPSS (срок службы >20 000 часов)
- Стандартная модель поддерживает подложки до 12 дюймов (возможно изготовление под заказ)
- Многомерная литография: поляризационная экспозиция, интерференционная экспозиция, поддержка 1024 уровней серого
- Высокоточная платформа позиционирования
- Высокоточная система контроля окружающей среды
- Автофокусировка и совмещение в реальном времени
- Зональное позиционирование, экспонирование нескольких подложек, многозадачное экспонирование
- Поддержка автоматического и ручного совмещения
- Поддержка форматов файлов: GDSII, BMP, STL и другие
Документы
|
Источник излучения
|
LD 405 нм, ≥3.6 Вт (MiScan 200) / DPSS лазер 355 нм, 10 Вт (MiScan 200 UV) / DPSS лазер 355 нм, 10 Вт (MiScan 200 UV Pro) |
|
Оптика
|
Числовая апертура NA=0.3, NA=0.45, NA=0.8 |
|
DMD-матрица
|
0,95 дюйма, 1920×1080 пикселей |
|
Рабочий стол
|
200 × 200 мм (Опционально 250 × 250 мм) |
|
Система регулировки температуры
|
±0,1 °C, фильтрация класса 100 (ISO 5) |
|
Диапазон автофокусировки
|
0-200 мкм |
|
Толщина подложки
|
0-15 мм |
|
Размер подложки
|
5 × 5 мм – 300 × 300 мм |
|
Поддерживаемые форматы файлов
|
GDS, BMP, STL |
|
Опции
|
Поляризационная литография (MiScan 200, MiScan 200 UV) / Система совмещения по |
|
Мин. размер структуры
|
0,5 мкм |
|
Мин. расстояние между линиями
|
0,5 мкм |
|
Точность совмещения
|
±0,25 мкм @ 5 × 5 мм; ±0,5 мкм @ 50 × 50 мм |
|
Количество оттенков серого
|
256 (Опционально 1024) |
|
Числовая апертура
|
0,3 0,45 0,8 0,3 0,45 0,8 0,3 0,45 0,8 |
|
Равномерность критического размера, нм
|
300 200 80 300 180 70 300 180 70 |
|
Скорость записи, мм2/мин
|
600 400 90 1000 450 150 1000 450 150 |
|
Автоматическая загрузка-выгрузка
|
Опционально |
|
Шероховатость края
|
20 нм |
|
Габариты, вес и мощность
|
1500 × 1250 × 2050 мм; 1600 кг; 3.5 кВт |
- Микро-нано оптика
- Фотонные интегральные схемы (оптические волноводы, кольцевые резонаторы, решетки)
- МЭМС (микроэлектромеханические системы)
- Полупроводниковые приборы
- Корпусирование компонентов
- Печатные платы
- Голография и защита от подделок
- Биомедицина
- Научные исследования
Нужна консультация?
Бесплатная консультация инженера
Задать вопрос